系统中的一环,和光源激发一样异常重要。
当然,这是对于顶级的极紫外光来说的。
十纳米波长的极紫外光非常容易被任何物体吸收,即便是顶级的高透光玻璃,也会吸收。
所以光刻机里面的光镜不能使用玻璃透镜,必须使用反光镜。
另外,普通的镜面也达不到反射所有光波的效果,光刻机这里需要使用的,是一种特殊的反光镜。
“布拉格反射器”
这种反射器和普通的镜子不同,它通过将不同折射率的薄膜交互周期性的堆叠在一起,让光经过这些不同折射率的薄膜的时候,被各层薄膜反射回来。
而因为多层薄膜共同叠加起作用的原因,光的相位角发生了改变,从而被进行建设性干涉。
最后使得反射光互相结合再一起,得到强烈反射光。
他接下来要制备的,就是这种。
能用于顶级光刻机中的“布拉格反射器”对光学加工技术要求极高,地球上能够制造出这样镜头的国家就只有两个。
一个是米国、一个是日耳曼国。
在世界各国眼中,以韩元目前的工业设备和条件,摆明了是制备不出来顶级的‘布拉格反射器’的。
然而韩元接下来说的话,却让世界各国集体抖了三抖。
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