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第四百一十一章:适用于碳基芯片的光刻胶(4 / 4)

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顶级的碳基芯片和硅基芯片一样,使用光刻机进加工制备,那么自然同样需要一种针对性的光刻胶来进行蚀刻处理。

而石墨烯晶圆和单晶硅晶圆,这两种材料虽然都是半导体,但因为两者的性质不同,对其进行曝光处理,需要的光刻胶自然不同。

光刻胶这东西,在硅基芯片上大体分两种类型。

一正一负两大类。

正性类型的光刻胶在涂抹到晶圆上,经过曝光、显影处理后,曝光的区域被溶解,未曝光部分留下来,这就是正性类型光刻胶。

反之,则是负性类型光刻胶。

硅基芯片是这样的,但碳基芯片不是。

碳和硅,就单质性质来说,碳的稳定性是要大于硅的。

而在两者的半导体材料这一样,石墨烯晶圆的稳定性同样要大于单晶硅晶圆。

所以真正高精度的碳基光刻胶只有一种,那就是负性光刻胶。

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